CoolSV, ну вот. Взял и расстроил специалиста.
Да, я знаю что транзистор формируется за много-много операций.
Да, я знаю, что основная цена разработки микросхемы - это именно стоимость проекта. Просто не стал писать много умных букв.
Но проект такой дорогой именно из-за дороговизны отладки - слишком высока цена ошибки, равная цене дорогого фотошаблона. Когда у разработчика появится возможность каждую интересную мысль по технологии проверять на практике, когда он на собственных шишках видеть на практике "почему оно нихт фунциклирен" - это будет и разработчику в плюс к профессиональному росту, и к отладке минус в цене. Любой программист знает, что вносиить правки в программу проще и удобнее по одной - так и не запутаешься и точно знаешь что повлияло на результат.
Готовые блоки - оно, конечно, хорошо. Но часто приводят к абсурду - "мы не можем использовать все возможности новой технологии, потому что в готовых блоках полно костылей от технологии старой, когда они еще были нужны".
Именно возможность обойтись вообще без фотошаблона - основной посыл статьи и преимущество аппарата. Рисуем прямо по фоторезисту. По такому же точно фоторезисту, как у всех.
Если грамотно подойти к координирующему весь этот аппарат софту - можно и миллион одинаковых участков на разных микросхемах (и все это на одной пластине) рисовать.
В итоге можно на одной и той же пластине спокойно делать несколько тестовых версий одной и той же микросхемы. Причем сегодня мы тестируем одно расположение микросхем, а завтра другое - в целях оптимизации занимаемого места, например, причем с учетом всех этих десятков и сотен итераций фотолитографии.
Кстати, о CCD-матрицах, а заодно и всякой разной памяти - это же регулярные структуры. Значит 40-50 проходов такого аппарата - и готов мегапиксель фотодиодов. Еще пара тысяч проходов - и готов мегапиксель матрицы со всей обвязкой. Ну или мегабит памяти, причем не абы какой, а статической CMOS.
Это не по 100 элементов рисовать.
Кстати, матрица мегапикселей на 10-14 содержит если не миллиард транзисторов, то очень близко к нему.
Очень хорошо этот метод позволит впихнуть регулярные структуры в неквадраные места (да, те самые готовые блоки поделить на запчасти и раскидать туда, где еще место осталось). Или вообще устроить тотальный "интерлейс" двум-трем блокам в целях оптимизации тепловыделения, особенно если сверхвысокое быстродействие не нужно.
И что-то мне подсказывает, что этот же аппарат можно использовать для изготовления фотошаблонов. Причем быстрого (миллион лучей - не фунт изюма) и точного - 45 нанометров нужно далеко не всем и не везде, как вы справедливо заметили.
Ответить с цитированием