Для военного применения должны удовлетворять требованиям "Мороз-4" ("Мороз-5") по температуре, вибрации, влажности и т.д.
А по точностям- зависит от того, что нужно смастерить- простейшую курсовертикаль для БПЛА или УР с ЛГСН, например, ИНС для фронтового бомбардировщика, который летает пару часов или ИНС для стратегического ракетоносца со временем полета 10-15 часов.

В сети есть книги на американском языке:
Robert Osiander , M. Ann Garrison Darrin , John L. Champion " MEMS and Microstructures in Aerospace Applications ",

Aggarwal et al - "MEMS-Based Integrated Navigation"